Рутенијум Таргет

Антиоксиданс, отпорно-на корозију и равномерно формирање филма-обезбеђујући веома поуздано решење за таложење танких-филмова за апликације за полупроводнике и складиштење података.

Мета за распршивање рутенијума је мета за распршивање племенитих метала из групе платине произведена од рутенијума високе -чистоће (Ру) рафинацијом, топљењем, ковањем и прецизном машинском обрадом. Првенствено се користи у процесима магнетронског распршивања физичким таложењем паре (ПВД). Овај производ има високу тачку топљења, високу тврдоћу, одличну отпорност на оксидацију и хемијску стабилност, што омогућава производњу униформних и густих рутенијумских филмова. Налази широку примену у напредној меморији полупроводника, интерконекцијама интегрисаних кола, слојевима дифузионих баријера и уређајима за складиштење и приказ података.

Pošalji upit

Опис производа

Ова серија рутенијумских мета је произведена од рутенијумских сировина високе{0}}чистоће, постижући високу густину и уједначену микроструктуру кроз процесе топљења лука и пречишћавања зрна. Производи су доступни у различитим конфигурацијама, укључујући планарне и ротирајуће мете, и подржавају услуге задње плоче за везивање индијума -Еластиц Боди-, што их чини погодним за примене ДЦ распршивања.

Феатуре

Висока чистоћа, конвенционална класа, доступна у ултра-спецификацијама високе чистоће.
Висока тврдоћа, одлична отпорност на хабање и врхунска отпорност на оксидацију и корозију.

Превише висока тачка топљења са одличном стабилношћу{0}при високим температурама.
Филм показује уједначено таложење и високу густину, што га чини погодним за напредне процесе производње полупроводника.

Спецификације и модели

За прилагођене димензије, дебљину, чистоћу или техничке спецификације, слободно нас контактирајте. Можемо да обезбедимо решења за материјал по мери заснована на вашој опреми за распршивање, захтевима премаза и спецификацијама димензија.

Димензија класификације	Врста производа	Основне карактеристике
Степен чистоће	Различити степен чистоће	Општа{0}}намена за полупроводнике, екране и меморијске уређаје.
Формат производа	Кружна планарна рутенијумска мета	Стандардне спецификације, компатибилне са већином опреме за распршивање.
	Рутенијумска мета у облику правоугаоника/блока{0}}а	Погодно за{0}}примену премаза за велике површине.
	Ротирајућа рутенијумска мета	Погодно за велике{0}}површине, високо{1}}ефикасно таложење.

Апликација

Полупроводници: ДРАМ/МИМ кондензаторске електроде, интерконективни слојеви дифузијске баријере.
Напредна меморија: магнетна меморија, фаза{0}}промена меморије, отпорна меморија.
Интегрисано коло: семенски слој бакрене интерконекције, слој баријере и логички уређај.
Уређаји за приказ: равни{0}}екрани, ОЛЕД танкофилмске-електроде.
Оптоелектроника и фотонапон: оптички премази, функционални слојеви фотонапонских ћелија.
Прецизна електроника: електрични контакти{0}}отпорни на хабање, отпорници-дебелог филма, сензори.

Popularne oznake: рутенијумски циљ, Кина рутенијумски циљни произвођачи, добављачи, фабрика